一种制造抛光垫的方法，包括确定待引入所述抛光垫的抛光层的聚合物基质内的期望空隙分布。
生成电子控制信号，所述电子控制信号配置为由三维打印机所读取，且所述电子控制信号指定待沉积聚合物基质前驱物的位置，以及指定无材料待沉积的期望空隙分布的位置。
使用所述三维打印机连续沉积与所述多个第一位置相对应的多层的所述聚合物基质。
所述多层的所述聚合物基质的每一层是通过从喷嘴射出聚合物基质前驱物而沉积。
所述聚合物基质前驱物经固化而形成具有期望空隙分布的固化聚合物基质。

拉克斯曼·穆鲁盖什 卡德萨拉·拉玛亚·纳伦德纳斯

应用材料公司

美国加利福尼亚州

一种制造抛光垫的方法，包括确定待引入所述抛光垫的抛光层的聚合物基质内的期望空隙分布。
生成电子控制信号，所述电子控制信号配置为由三维打印机所读取，且所述电子控制信号指定待沉积聚合物基质前驱物的位置，以及指定无材料待沉积的期望空隙分布的位置。
使用所述三维打印机连续沉积与所述多个第一位置相对应的多层的所述聚合物基质。
所述多层的所述聚合物基质的每一层是通过从喷嘴射出聚合物基质前驱物而沉积。
所述聚合物基质前驱物经固化而形成具有期望空隙分布的固化聚合物基质。