本公开涉及具有压电致动的微流体MEMS器件及其制造工艺。
一种微流体器件具有多个喷射器元件。
每个喷射器元件包括：容纳第一流体流动通道和致动器室的第一区域；容纳流体容纳室的第二区域；以及容纳第二流体流动通道的第三区域。
流体容纳室流体耦合到第一和第二流体流动通道。
第二区域由膜层、膜限定层和流体腔室限定体形成，膜限定层机械地耦合到膜层并且具有膜限定开口，流体腔室限定体机械地耦合到膜限定层并且具有腔室限定开口，腔室限定开口的宽度大于膜限定开口的宽度。
因此，膜的宽度由腔室限定开口的宽度限定。

D·朱斯蒂 M·卡塔内奥 C·L·佩瑞里尼

意法半导体股份有限公司

意大利阿格拉布里安扎

本公开涉及具有压电致动的微流体MEMS器件及其制造工艺。
一种微流体器件具有多个喷射器元件。
每个喷射器元件包括：容纳第一流体流动通道和致动器室的第一区域；容纳流体容纳室的第二区域；以及容纳第二流体流动通道的第三区域。
流体容纳室流体耦合到第一和第二流体流动通道。
第二区域由膜层、膜限定层和流体腔室限定体形成，膜限定层机械地耦合到膜层并且具有膜限定开口，流体腔室限定体机械地耦合到膜限定层并且具有腔室限定开口，腔室限定开口的宽度大于膜限定开口的宽度。
因此，膜的宽度由腔室限定开口的宽度限定。