一种硅片沟槽内丝网印刷工艺,步骤依次包括:一次检验、一次印刷前硅片对准、一次印刷、一次烘干、二次检验、二次印刷前硅片对准、二次印刷和二次烘干。
本发明的有益效果是:采用丝网印刷的方式实现对硅片沟槽内表面的层处理,相较于原有的电泳钝化层的方式,缩短钝化时间,有效提高生产效率;适合大批量规模化生产;两次印刷能够使槽内玻璃更完整,使沟槽拐角处有玻璃保护,提高产品性能。
王晓捧 王彦君 孙晨光 徐长坡 陈澄 武卫 梁效峰 王宏宇 杨玉聪 史丽萍 徐艳超 甄辉 齐风 董文一
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一种硅片沟槽内丝网印刷工艺,步骤依次包括:一次检验、一次印刷前硅片对准、一次印刷、一次烘干、二次检验、二次印刷前硅片对准、二次印刷和二次烘干。
本发明的有益效果是:采用丝网印刷的方式实现对硅片沟槽内表面的层处理,相较于原有的电泳钝化层的方式,缩短钝化时间,有效提高生产效率;适合大批量规模化生产;两次印刷能够使槽内玻璃更完整,使沟槽拐角处有玻璃保护,提高产品性能。