本发明公开了一种柔性聚合物封闭膜仿生纤毛微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括纤毛、柔性膜、SOI硅‑玻璃电容结构，SOI硅‑玻璃电容结构包括上层硅结构(Z向及转角检测电极、公共电极及支撑层)、中间层硅结构(动梳齿电极的检验质量块、X向水平电极、静梳齿电极、硅穿孔铜引线柱)、底层玻璃结构(底层Z向及转角检测轴向电极、公共电极以及引线、引脚)，能测量纤毛转动角度。
纤毛受流场作用后，带动硅连接柱及检验质量块发生角位移偏转，使检验质量块与四周的电极形成的转角电容变化，转角电容由流场输入大小、柔性膜扭转刚度和静电控制力矩决定。
通过检测电容和静电力矩反馈平衡电压，测量得到输入的流速或剪应力。

刘武 梁贺龙 訾鹏 许海军

上海交通大学

200240 上海市闵行区东川路800号

本发明公开了一种柔性聚合物封闭膜仿生纤毛微传感器及其制备方法，涉及微机电技术领域，包括纤毛、柔性膜、SOI硅‑玻璃电容结构，SOI硅‑玻璃电容结构包括上层硅结构(Z向及转角检测电极、公共电极及支撑层)、中间层硅结构(动梳齿电极的检验质量块、X向水平电极、静梳齿电极、硅穿孔铜引线柱)、底层玻璃结构(底层Z向及转角检测轴向电极、公共电极以及引线、引脚)，能测量纤毛转动角度。
纤毛受流场作用后，带动硅连接柱及检验质量块发生角位移偏转，使检验质量块与四周的电极形成的转角电容变化，转角电容由流场输入大小、柔性膜扭转刚度和静电控制力矩决定。
通过检测电容和静电力矩反馈平衡电压，测量得到输入的流速或剪应力。