本发明涉及一种全玻璃碱金属原子气室的制备方法。
目前加工技术难以在较低温度条件下实现可填充纯碱金属的微米尺度气室。
本方法首先在玻璃基底表面进行微通道成形加工，形成原子气室主体结构形貌，在该形貌一端加工出通孔，形成碱金属原子填充通道；然后用另一个玻璃基底对前玻璃基底进行键合封闭，形成原子气室主体结构；将玻璃毛细管一端与通孔的开放端相互键合，形成碱金属原子注入通道，通过玻璃毛细管加注所需纯碱金属之后，采用玻璃烧结的方法封闭碱金属气室，自然形成封闭结构，形成闭合的碱金属原子气室。
本发明方法实现了全玻璃腔体碱金属原子气室，制造成本低，可满足百微米尺度气室加注纯碱金属要求，同时可以实现气室的批量化制备。

李德钊 吴彬 张桂迎 李衎 林强

浙江工业大学

310014 浙江省杭州市下城区潮王路18号

本发明涉及一种全玻璃碱金属原子气室的制备方法。
目前加工技术难以在较低温度条件下实现可填充纯碱金属的微米尺度气室。
本方法首先在玻璃基底表面进行微通道成形加工，形成原子气室主体结构形貌，在该形貌一端加工出通孔，形成碱金属原子填充通道；然后用另一个玻璃基底对前玻璃基底进行键合封闭，形成原子气室主体结构；将玻璃毛细管一端与通孔的开放端相互键合，形成碱金属原子注入通道，通过玻璃毛细管加注所需纯碱金属之后，采用玻璃烧结的方法封闭碱金属气室，自然形成封闭结构，形成闭合的碱金属原子气室。
本发明方法实现了全玻璃腔体碱金属原子气室，制造成本低，可满足百微米尺度气室加注纯碱金属要求，同时可以实现气室的批量化制备。