一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法，本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法。
本发明是为了解决陶瓷异质材料上石墨烯CVD生长、修饰困难和传感器结构尺寸大的问题。
本发明采用MEMS工艺技术在陶瓷异质材料基片制作传感器加热电阻和信号输出电极，采用PVD技术在基片上制作石墨烯生长的种子层，用CVD技术实现石墨烯在种子层上的生长，用化学修饰手段实现对石墨的功能化修饰，完成石墨烯气体传感器的制备。
本发明的传感器具有性能高、尺寸小的特点，通过传感单元的阵列化集成用于多种气体浓度同时检测。

杨永超 刘继江 刘玺 秦浩 王成杨 王洋洋

中国电子科技集团公司第四十九研究所

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区一曼街29号

一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法，本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种陶瓷微结构石墨烯气体传感器及其制造方法。
本发明是为了解决陶瓷异质材料上石墨烯CVD生长、修饰困难和传感器结构尺寸大的问题。
本发明采用MEMS工艺技术在陶瓷异质材料基片制作传感器加热电阻和信号输出电极，采用PVD技术在基片上制作石墨烯生长的种子层，用CVD技术实现石墨烯在种子层上的生长，用化学修饰手段实现对石墨的功能化修饰，完成石墨烯气体传感器的制备。
本发明的传感器具有性能高、尺寸小的特点，通过传感单元的阵列化集成用于多种气体浓度同时检测。