本发明提出一种MEMS电容式压力传感器及制备方法，该MEMS电容式压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；压力敏感膜，设置在第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在第一衬底的下表面，与该压力敏感膜相对；电介质块，设置在该压力敏感膜的下表面，位于所述第一凹槽中；第二凹槽，设置在该第二衬底的上表面，与该第一凹槽形成真空腔；第三凹槽和第四凹槽，环绕并间隔所述第二凹槽设置在所述第二衬底的下表面；绝缘层，设置在所述第二衬底的下表面；第一电极，设置在所述第三凹槽邻近所述第二凹槽的侧壁的所述绝缘层上；第二电极，设置在该第四凹槽邻近该第二凹槽的侧壁的该绝缘层上。
该传感器具有更高的线性度并改善其电极引出可靠性。

李维平 崔艳凤 兰之康

南京高华科技股份有限公司

210046 江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号

本发明提出一种MEMS电容式压力传感器及制备方法，该MEMS电容式压力传感器包括：堆叠的第一衬底和第二衬底；压力敏感膜，设置在第一衬底的上表面；第一凹槽，设置在第一衬底的下表面，与该压力敏感膜相对；电介质块，设置在该压力敏感膜的下表面，位于所述第一凹槽中；第二凹槽，设置在该第二衬底的上表面，与该第一凹槽形成真空腔；第三凹槽和第四凹槽，环绕并间隔所述第二凹槽设置在所述第二衬底的下表面；绝缘层，设置在所述第二衬底的下表面；第一电极，设置在所述第三凹槽邻近所述第二凹槽的侧壁的所述绝缘层上；第二电极，设置在该第四凹槽邻近该第二凹槽的侧壁的该绝缘层上。
该传感器具有更高的线性度并改善其电极引出可靠性。