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专利摘要

本发明公开了一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用。
所述用于控制液滴形状的薄膜的制备方法,包括:提供衬底;在所述衬底上沉积钛金属层;采用激光直写技术在所述钛金属层上刻写图案,得到图案化的钛金属层;对所述图案化的钛金属层进行湿法刻蚀,得到具有悬切结构的薄膜。
本发明所制备的用于控制液滴形状的薄膜上形成有带有尖锐边缘的悬切结构,对液体具有强钉扎效应,从而提高微液滴形状稳健性。

专利状态

基础信息

专利号
CN202010436325.X
申请日
2020-05-21
公开日
2020-09-01
公开号
CN111606299A
主分类号
/B/B81/ 作业;运输
标准类别
微观结构技术
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

王萌 王宁 仇明侠 杨焕 何铁锋 张良静 项炳锡

申请人

深圳技术大学

申请人地址

518118 广东省深圳市坪山区兰田路3002号

专利摘要

本发明公开了一种用于控制液滴形状的薄膜及其制备方法与应用。
所述用于控制液滴形状的薄膜的制备方法,包括:提供衬底;在所述衬底上沉积钛金属层;采用激光直写技术在所述钛金属层上刻写图案,得到图案化的钛金属层;对所述图案化的钛金属层进行湿法刻蚀,得到具有悬切结构的薄膜。
本发明所制备的用于控制液滴形状的薄膜上形成有带有尖锐边缘的悬切结构,对液体具有强钉扎效应,从而提高微液滴形状稳健性。

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