本发明涉及微机械结构和用于制造微机械结构的方法。
根据各种实施例的微机械结构可包括：衬底；和功能结构，布置在衬底处；其中所述功能结构包括功能区域，所述功能区域可响应于作用于功能区域的力而相对于衬底偏转；以及其中功能区域的至少一部分具有处于从大约5 GPa到大约70 GPa的范围中的弹性模量。

G.德尼夫尔 T.弗里施穆特 T.格里勒 U.黑德尼希 M.卡恩 D.毛雷尔 U.施密德 M.施奈德

英飞凌科技股份有限公司

德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1－12号

本发明涉及微机械结构和用于制造微机械结构的方法。
根据各种实施例的微机械结构可包括：衬底；和功能结构，布置在衬底处；其中所述功能结构包括功能区域，所述功能区域可响应于作用于功能区域的力而相对于衬底偏转；以及其中功能区域的至少一部分具有处于从大约5 GPa到大约70 GPa的范围中的弹性模量。