【课题】提供一种能够高精度地检测多轴方向上的角速度的传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备。
【解决方案】根据本发明实施方式的传感器装置包括振动器单元、环形基部、多个连结部和布线层。
所述布线层包括多个驱动布线和多个检测布线。
多个驱动布线分别连接到第一驱动电极和第二驱动电极，并且彼此相邻并平行。
多个检测布线分别连接到第一检测电极和第二检测电极，并且彼此相邻并平行。
所述布线层分别设置在所述多个连结部中的每一个上，将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接。

三谷谕司 椛泽秀年 高桥和夫 新仓英生

索尼公司

日本东京都

【课题】提供一种能够高精度地检测多轴方向上的角速度的传感器装置、陀螺仪传感器和电子设备。
【解决方案】根据本发明实施方式的传感器装置包括振动器单元、环形基部、多个连结部和布线层。
所述布线层包括多个驱动布线和多个检测布线。
多个驱动布线分别连接到第一驱动电极和第二驱动电极，并且彼此相邻并平行。
多个检测布线分别连接到第一检测电极和第二检测电极，并且彼此相邻并平行。
所述布线层分别设置在所述多个连结部中的每一个上，将所述多个端子部分别与所述多个压电驱动单元、第一压电检测单元和第二压电检测单元电连接。