本发明描述了微机电系统(MEMS)传感器和相关的偏置电压技术。
示例性MEMS传感器，诸如本文描述的示例性MEMS声学传感器或麦克风，可以采用一个或多个偏置电压发生器和单端或差分放大器布置。
所描述的各种实施例可以有效地增加传感器元件可用的偏置电压，而不需要采用高击穿电压半导体工艺。
另外，基于许多因素的考虑，描述了在各种操作模式下对一个或多个偏置电压发生器的控制。

基耶朗·哈尼 亚得里安努斯·玛莉亚·拉福德 布莱恩·摩斯 迪昂·伊弗·德·卢

应美盛公司

美国加州

本发明描述了微机电系统(MEMS)传感器和相关的偏置电压技术。
示例性MEMS传感器，诸如本文描述的示例性MEMS声学传感器或麦克风，可以采用一个或多个偏置电压发生器和单端或差分放大器布置。
所描述的各种实施例可以有效地增加传感器元件可用的偏置电压，而不需要采用高击穿电压半导体工艺。
另外，基于许多因素的考虑，描述了在各种操作模式下对一个或多个偏置电压发生器的控制。