本发明涉及一种微结构流体流动控制装置，该装置具有基板，其第一基板侧布置有压电致动第一膜片，基板具有流体通道，流体通道在第一基板侧和与其相对的第二基板侧之间延伸穿过基板。
另外，微结构流体流动控制装置还包括延伸穿过流体通道的微型阀和第二膜片，微型阀被构造为在未致动状态下闭合流体通道，第二膜片布置在第一基板侧上且与第一膜片隔开，并且布置在流体通道和压电致动第一膜片之间。
根据本发明，第二膜片与微型阀连结，并且朝向第一膜片机械地偏置，从而向微型阀施加偏置力(F

克里斯蒂安·瓦尔德 塞巴斯蒂安·基布勒 马丁·瓦克尔 尤塞尔·康加尔

弗劳恩霍夫应用研究促进协会

德国慕尼黑

本发明涉及一种微结构流体流动控制装置，该装置具有基板，其第一基板侧布置有压电致动第一膜片，基板具有流体通道，流体通道在第一基板侧和与其相对的第二基板侧之间延伸穿过基板。
另外，微结构流体流动控制装置还包括延伸穿过流体通道的微型阀和第二膜片，微型阀被构造为在未致动状态下闭合流体通道，第二膜片布置在第一基板侧上且与第一膜片隔开，并且布置在流体通道和压电致动第一膜片之间。
根据本发明，第二膜片与微型阀连结，并且朝向第一膜片机械地偏置，从而向微型阀施加偏置力(F