示例性流体微机电系统可以包括衬底和由衬底支承的第一层。
该第一层形成腔室的侧壁、穿过侧壁之一的通道、和腔室、以及止回阀叶片。
该止回阀叶片可以围绕不与衬底平行的轴枢转以打开和关闭通道。
该系统可以进一步包括在腔室之上的第二层、通入腔室的开口以及支承在腔室内的电阻器。

E·L·尼克尔

惠普发展公司,有限责任合伙企业

美国德克萨斯州

示例性流体微机电系统可以包括衬底和由衬底支承的第一层。
该第一层形成腔室的侧壁、穿过侧壁之一的通道、和腔室、以及止回阀叶片。
该止回阀叶片可以围绕不与衬底平行的轴枢转以打开和关闭通道。
该系统可以进一步包括在腔室之上的第二层、通入腔室的开口以及支承在腔室内的电阻器。