一种基于液态金属的物理锁存MEMS开关,采用电热驱动的原理,包括盖板、金属液滴和开关驱动装置,盖板以玻璃为基底其上制作有SU8胶结构,金属液滴封装在在盖板的套筒和驱动装置的储液槽之间,盖板和开关驱动装置涂胶结合在一起;开关的固定电极与金属液滴始终保持接触,可动电极可在电热效应下产生直线位移与金属液滴接触或分离,从而使开关电路导通或断开;驱动装置设计有物理锁存结构,通过限位杆和楔形滑块的时序动作和配合可实现开关的锁定和解锁;本发明具有导通状态稳定、接触电阻低、功耗低和环保等特点。
胡腾江 曹彤彤 赵玉龙 王柯心
西安交通大学
710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号
一种基于液态金属的物理锁存MEMS开关,采用电热驱动的原理,包括盖板、金属液滴和开关驱动装置,盖板以玻璃为基底其上制作有SU8胶结构,金属液滴封装在在盖板的套筒和驱动装置的储液槽之间,盖板和开关驱动装置涂胶结合在一起;开关的固定电极与金属液滴始终保持接触,可动电极可在电热效应下产生直线位移与金属液滴接触或分离,从而使开关电路导通或断开;驱动装置设计有物理锁存结构,通过限位杆和楔形滑块的时序动作和配合可实现开关的锁定和解锁;本发明具有导通状态稳定、接触电阻低、功耗低和环保等特点。