致动器装置(1)具备：支撑部(5)；可动部(6)；连结部(8)，以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5)；第一配线(21)，被设置于连结部(8)上；第二配线(31)，被设置于支撑部(5)上；绝缘层(52)，具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。
构成第一配线(21)的第一金属材料其刚性高于构成第二配线(31)的第二金属材料。
第一配线(21)以及第二配线(31)的另一方的配线在第一开口(52a)被连接于第一连接部分(25)的表面(25a)。

泷本贞治 森永勇树 铃木大几 藁科祯久

浜松光子学株式会社

日本静冈县

致动器装置(1)具备：支撑部(5)；可动部(6)；连结部(8)，以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5)；第一配线(21)，被设置于连结部(8)上；第二配线(31)，被设置于支撑部(5)上；绝缘层(52)，具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。
构成第一配线(21)的第一金属材料其刚性高于构成第二配线(31)的第二金属材料。
第一配线(21)以及第二配线(31)的另一方的配线在第一开口(52a)被连接于第一连接部分(25)的表面(25a)。