镜装置(1)包括：镜(16)，其在快轴(A1f)的周围可摇动地被支承，并且在慢轴(A2s)的周围可摇动地被支承，相对于快轴(A1f)的摇动的共振频率为第一值，相对于慢轴(A2s)的摇动的共振频率为比第一值低的第二值；信号提取部(54)，其从慢轴线圈(17s)得到包含由于使镜(16)在快轴(A1f)的周围摇动的动作引起而在慢轴线圈(17s)产生的感应信号(N4)的合成信号(N3)，并且从合成信号(N3)提取感应信号(N4)；信号生成部(50)，根据感应信号(N4)生成快轴驱动信号(N1)，使得镜(16)相对于快轴(A1f)的摇动成为共振状态。

高桥聪

浜松光子学株式会社

日本静冈县

镜装置(1)包括：镜(16)，其在快轴(A1f)的周围可摇动地被支承，并且在慢轴(A2s)的周围可摇动地被支承，相对于快轴(A1f)的摇动的共振频率为第一值，相对于慢轴(A2s)的摇动的共振频率为比第一值低的第二值；信号提取部(54)，其从慢轴线圈(17s)得到包含由于使镜(16)在快轴(A1f)的周围摇动的动作引起而在慢轴线圈(17s)产生的感应信号(N4)的合成信号(N3)，并且从合成信号(N3)提取感应信号(N4)；信号生成部(50)，根据感应信号(N4)生成快轴驱动信号(N1)，使得镜(16)相对于快轴(A1f)的摇动成为共振状态。