基于掺铝氧化锌多孔纳米薄膜的MEMS甲醛传感器的制备方法 下载此专利PDF版本

CN202011053124.8 薄膜 甲醛 传感器 多孔 氧化锌

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专利摘要

本发明公开了一种基于掺铝氧化锌多孔纳米薄膜的MEMS甲醛传感器的制备方法，该传感器自下至上为SiO

专利状态

  1. 申请日
  2. 公开日
  3. 审查中-实审

基础信息

专利号
CN202011053124.8
申请日
2020-09-29
公开日
2021-01-05
公开号
CN112179956A
主分类号
/B/B81/ 作业；运输
标准类别
微观结构技术
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

张铭 王久洪 唐闫焜 王海容

申请人

西安交通大学

申请人地址

710049 陕西省西安市咸宁西路28号

专利摘要

本发明公开了一种基于掺铝氧化锌多孔纳米薄膜的MEMS甲醛传感器的制备方法，该传感器自下至上为SiO

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