本申请公开了一种扭矩传感器及其制造方法，包括衬底；外延层，位于所述衬底上；多个第一掺杂区和多个第二掺杂区，分别位于所述外延层中；多个第一欧姆接触区，位于所述第一掺杂区的两端；多个第二欧姆接触区，位于所述第二掺杂区的两端；以及第一隔离结构，位于所述外延层和所述衬底中，包围所述第一掺杂区和第二掺杂区。
本发明的扭矩传感器通过额外设置弯矩感测单元，同时获得扭矩感测信号和弯矩信号，采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿，消除弯矩对扭矩感测信号的影响，可以提高测量的扭矩值的准确度。

汪建平 邓登峰

杭州士兰微电子股份有限公司

310012 浙江省杭州市黄姑山路4号

本申请公开了一种扭矩传感器及其制造方法，包括衬底；外延层，位于所述衬底上；多个第一掺杂区和多个第二掺杂区，分别位于所述外延层中；多个第一欧姆接触区，位于所述第一掺杂区的两端；多个第二欧姆接触区，位于所述第二掺杂区的两端；以及第一隔离结构，位于所述外延层和所述衬底中，包围所述第一掺杂区和第二掺杂区。
本发明的扭矩传感器通过额外设置弯矩感测单元，同时获得扭矩感测信号和弯矩信号，采用弯矩信号对扭矩感测信号进行补偿，消除弯矩对扭矩感测信号的影响，可以提高测量的扭矩值的准确度。