本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种嵌入式微纳传感器及其制备方法，它包括金属衬底、粘附层、介电层、传感器层、种子层、嵌入层；所述金属衬底上设置有一层粘附层，该层粘附层上设置有一层介电层，该介电层上设置有传感器层，该传感器层上再设置有一层介电层；所述传感器层上的介电层上设置一层粘附层，该粘附层上设置有一层种子层，该种子层上设置有嵌入层；它采用在微型硅衬底上制作传感器之后将其转移到电镀金属上，电镀金属拥有硅衬底的表面光滑性，从而消除了在金属上直接制造传感器的问题；也解决了通过SU‑8光刻工艺分离单个传感器的问题。

周文生 高为雄 程亚娟

苏州工业园区洛加大先进技术研究院

215000 江苏省苏州市工业园区月亮湾路10号慧湖大厦A1201

本发明涉及传感器技术领域，具体涉及一种嵌入式微纳传感器及其制备方法，它包括金属衬底、粘附层、介电层、传感器层、种子层、嵌入层；所述金属衬底上设置有一层粘附层，该层粘附层上设置有一层介电层，该介电层上设置有传感器层，该传感器层上再设置有一层介电层；所述传感器层上的介电层上设置一层粘附层，该粘附层上设置有一层种子层，该种子层上设置有嵌入层；它采用在微型硅衬底上制作传感器之后将其转移到电镀金属上，电镀金属拥有硅衬底的表面光滑性，从而消除了在金属上直接制造传感器的问题；也解决了通过SU‑8光刻工艺分离单个传感器的问题。