本发明公开了一种超导托卡马克装置抽气系统上的尾气自动分离提纯系统，初级储气罐通过管道以及充气阀向多孔气体分离室内充气，而抽气机组通过抽气管道以及抽气阀门把多孔气体分离室内的气体向初级储气罐转移，以使多孔气体分离室内的气压保持在指定的气压值，所述的低温泵通过阀门及连接管道从真空腔体内抽除从多孔气体分离室小孔泄露的气体，低温泵在尾气分离完毕后可以回温。
本发明采用泄流原理进行尾气自动分离的，选择适当的小孔尺寸和适当的工作气体压强，处于多孔气体分离室内的混合气体，由于泄流效应，小质量数分子很容易从小孔流出，而质量数大的气体分子不容易流出，因此可以方便的实现大质量数分子和小质量数分子的有效分离。

庄会东 张晓东 胡建生 陈鑫鑫

中国科学院合肥物质科学研究院

230031 安徽省合肥市蜀山湖路350号

本发明公开了一种超导托卡马克装置抽气系统上的尾气自动分离提纯系统，初级储气罐通过管道以及充气阀向多孔气体分离室内充气，而抽气机组通过抽气管道以及抽气阀门把多孔气体分离室内的气体向初级储气罐转移，以使多孔气体分离室内的气压保持在指定的气压值，所述的低温泵通过阀门及连接管道从真空腔体内抽除从多孔气体分离室小孔泄露的气体，低温泵在尾气分离完毕后可以回温。
本发明采用泄流原理进行尾气自动分离的，选择适当的小孔尺寸和适当的工作气体压强，处于多孔气体分离室内的混合气体，由于泄流效应，小质量数分子很容易从小孔流出，而质量数大的气体分子不容易流出，因此可以方便的实现大质量数分子和小质量数分子的有效分离。