本发明提供一种氨的精制机构，其能够从粗氨中去除作为给气相成长带来不良影响的原因的油分等杂质，并且连续供给于氮化镓类化合物半导体工艺，该粗氨为作为工业用而市售的廉价的粗氨、以及从氮化镓类化合物半导体的制造工序中回收的粗氨。
一种油分去除装置，其从含有作为杂质的油分的粗氨中去除油分，其特征在于，由油分过滤筒和油分吸附筒构成，该油分过滤筒收纳有过滤元件，该过滤元件通过使加工成褶状、蜂巢状或立体构造状的过滤膜呈圆筒状成形而得到，该油分吸附筒填充有活性炭。
更进一步，一种氨的精制装置，其除了具有上述油分去除装置以外，还具有催化剂筒以及吸附筒，该催化剂筒填充有将镍作为有效成分的催化剂，该吸附筒填充有合成沸石。

荒川秩 秋山敏雄 矢田浩一 槙田敦哉

日本派欧尼株式会社

日本神奈川县

本发明提供一种氨的精制机构，其能够从粗氨中去除作为给气相成长带来不良影响的原因的油分等杂质，并且连续供给于氮化镓类化合物半导体工艺，该粗氨为作为工业用而市售的廉价的粗氨、以及从氮化镓类化合物半导体的制造工序中回收的粗氨。
一种油分去除装置，其从含有作为杂质的油分的粗氨中去除油分，其特征在于，由油分过滤筒和油分吸附筒构成，该油分过滤筒收纳有过滤元件，该过滤元件通过使加工成褶状、蜂巢状或立体构造状的过滤膜呈圆筒状成形而得到，该油分吸附筒填充有活性炭。
更进一步，一种氨的精制装置，其除了具有上述油分去除装置以外，还具有催化剂筒以及吸附筒，该催化剂筒填充有将镍作为有效成分的催化剂，该吸附筒填充有合成沸石。