本发明提供了一种微米级碳化硼粗磨液、其制备方法及其应用，粗磨液包括粒径为20～80μm的碳化硼粉末20～40wt％；分散稳定剂1～5wt％；辅助氧化剂0.4～1.6wt％；络合剂0.5～1.5wt％；成膜剂0.1～1.4wt％；pH值调节剂0.5～1.6wt％；余量为水；分散稳定剂选自气相二氧化硅、水性氧化铝、羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、甘油、六偏磷酸钠中的一种或几种；辅助氧化剂选自柠檬酸、苯甲酸和草酸中的一种或几种。
粗磨液悬浮稳定性较好，粗磨产品良率较高。
粗磨产品表面的晶片厚度差和粗糙度更小，降低加工难度。

周群飞 赵碧云

蓝思科技（长沙）有限公司

410100 湖南省长沙市经济技术开发区漓湘路99号

本发明提供了一种微米级碳化硼粗磨液、其制备方法及其应用，粗磨液包括粒径为20～80μm的碳化硼粉末20～40wt％；分散稳定剂1～5wt％；辅助氧化剂0.4～1.6wt％；络合剂0.5～1.5wt％；成膜剂0.1～1.4wt％；pH值调节剂0.5～1.6wt％；余量为水；分散稳定剂选自气相二氧化硅、水性氧化铝、羟丙基甲基纤维素、羧甲基纤维素、聚丙烯酸钠、聚丙烯酰胺、聚乙烯醇、聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、甘油、六偏磷酸钠中的一种或几种；辅助氧化剂选自柠檬酸、苯甲酸和草酸中的一种或几种。
粗磨液悬浮稳定性较好，粗磨产品良率较高。
粗磨产品表面的晶片厚度差和粗糙度更小，降低加工难度。