本发明涉及一种新型氧化锆复合磨料的制备工艺及研磨液，先制备氧化锆复合磨料有机前驱溶胶；再对有机前驱溶胶的造粒；然后烧结，获得氧化锆复合磨料。
本发明制备的氧化锆复合磨料由无数微小的氧化锆颗粒通过晶界处的硼铝酸盐熔体粘接而成，虽宏观尺寸较大，在研磨硅片过程中氧化锆复合磨料沿玻璃结合界面断裂，磨料的磨损为微量破碎式磨损，在磨削的过程中不断地破损产生大量的、新的、细小的磨削刃，该复合磨料，具有很高的自锐性，磨削效率比氧化铝磨料提高30%以上；另外，被研磨物体表面为大量细小的研磨痕，研磨后的工件的表面粗糙度值更低，而且使用过程中可以提供稳定一致的磨削量，能够有效地兼顾磨削效率和被磨削工件的表面质量。

郭兵健 刘小磐 徐一俊 何国君 吴晓峰

浙江中晶科技股份有限公司

313100 浙江省湖州市长兴县太湖街道陆汇路59号

本发明涉及一种新型氧化锆复合磨料的制备工艺及研磨液，先制备氧化锆复合磨料有机前驱溶胶；再对有机前驱溶胶的造粒；然后烧结，获得氧化锆复合磨料。
本发明制备的氧化锆复合磨料由无数微小的氧化锆颗粒通过晶界处的硼铝酸盐熔体粘接而成，虽宏观尺寸较大，在研磨硅片过程中氧化锆复合磨料沿玻璃结合界面断裂，磨料的磨损为微量破碎式磨损，在磨削的过程中不断地破损产生大量的、新的、细小的磨削刃，该复合磨料，具有很高的自锐性，磨削效率比氧化铝磨料提高30%以上；另外，被研磨物体表面为大量细小的研磨痕，研磨后的工件的表面粗糙度值更低，而且使用过程中可以提供稳定一致的磨削量，能够有效地兼顾磨削效率和被磨削工件的表面质量。