本发明提供一种由水玻璃制备超大粒径高浓度硅溶胶的方法，在常规的胶粒制备方法基础上，通过添加非离子型氟碳表面活性剂提高了胶粒表面的结晶活性，再经多次胶粒增长提高了大粒径胶粒的硅酸聚合速度，增大胶粒粒径，通过常压或减压恒液位蒸发或超滤浓缩工艺进行浓缩，制得超大粒径高浓度的硅溶胶，所述硅溶胶具有良好的抛光质量，可以用于超大规模集成电路全局平坦化化学机械抛光(CMP)技术中。

李彦东 林厦涛 叶海峰 皮艳 陈昌貌

阳江市惠尔特新材料科技有限公司

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本发明提供一种由水玻璃制备超大粒径高浓度硅溶胶的方法，在常规的胶粒制备方法基础上，通过添加非离子型氟碳表面活性剂提高了胶粒表面的结晶活性，再经多次胶粒增长提高了大粒径胶粒的硅酸聚合速度，增大胶粒粒径，通过常压或减压恒液位蒸发或超滤浓缩工艺进行浓缩，制得超大粒径高浓度的硅溶胶，所述硅溶胶具有良好的抛光质量，可以用于超大规模集成电路全局平坦化化学机械抛光(CMP)技术中。