本发明涉及一种用于抛光铜的CMP浆料组合物，其含有氧化剂、腐蚀抑制剂、螯合剂、溶剂以及(甲基)丙烯酸和具有唑类取代基的(甲基)丙烯酰胺化合物的共聚物；以及使用该CMP浆料组合物的抛光方法。

辛奈律 金元中 都均奉 黄基煜

三星SDI株式会社

韩国京畿道

本发明涉及一种用于抛光铜的CMP浆料组合物，其含有氧化剂、腐蚀抑制剂、螯合剂、溶剂以及(甲基)丙烯酸和具有唑类取代基的(甲基)丙烯酰胺化合物的共聚物；以及使用该CMP浆料组合物的抛光方法。