本发明提供一种组合物，所述组合物包括载体和包含在所述载体中的磨料微粒；所述载体包括液体，所述磨料微粒具有占所述磨料微粒平均至少10重量％的氧化铈以及至少0.1的铈3+比率(Ce 3+/总铈)。
在另一实施例中，浆料组合物可包括液体载体，所述液体载体包括水、氧化铈颗粒和游离硅酸盐离子，其中当抛光氧化硅晶片时，与不包括游离硅酸盐离子的浆料组合物相比，材料去除率可增加至少3％。

S·博蒂列里 纳比尔·纳哈斯 道格拉斯·E·沃德 宽春伦

圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司

美国马萨诸塞州

本发明提供一种组合物，所述组合物包括载体和包含在所述载体中的磨料微粒；所述载体包括液体，所述磨料微粒具有占所述磨料微粒平均至少10重量％的氧化铈以及至少0.1的铈3+比率(Ce 3+/总铈)。
在另一实施例中，浆料组合物可包括液体载体，所述液体载体包括水、氧化铈颗粒和游离硅酸盐离子，其中当抛光氧化硅晶片时，与不包括游离硅酸盐离子的浆料组合物相比，材料去除率可增加至少3％。