本发明涉及一种ZMO靶材的生产方法,包括如下步骤:S1:球磨筛分;S2:装模预压;S3:热压;S4:脱模。
本发明ZMO靶材的生产方法,步骤简单,所制备得到的ZMO靶材密度高、电阻率低,加热温度未超过1000℃,节约能源成本,能取得良好的经济效益,值得推广应用。
文崇斌 朱刘 陈肯 胡智向 曾成亮 余芳 谢小林
先导薄膜材料(广东)有限公司
511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号清远先导材料有限公司D车间
本发明涉及一种ZMO靶材的生产方法,包括如下步骤:S1:球磨筛分;S2:装模预压;S3:热压;S4:脱模。
本发明ZMO靶材的生产方法,步骤简单,所制备得到的ZMO靶材密度高、电阻率低,加热温度未超过1000℃,节约能源成本,能取得良好的经济效益,值得推广应用。