本发明涉及一种ZMO靶材的生产方法，包括如下步骤：S1：球磨筛分；S2：装模预压；S3：热压；S4：脱模。
本发明ZMO靶材的生产方法，步骤简单，所制备得到的ZMO靶材密度高、电阻率低，加热温度未超过1000℃，节约能源成本，能取得良好的经济效益，值得推广应用。

文崇斌 朱刘 陈肯 胡智向 曾成亮 余芳 谢小林

先导薄膜材料(广东)有限公司

511517 广东省清远市高新区百嘉工业园27-9号清远先导材料有限公司D车间

本发明涉及一种ZMO靶材的生产方法，包括如下步骤：S1：球磨筛分；S2：装模预压；S3：热压；S4：脱模。
本发明ZMO靶材的生产方法，步骤简单，所制备得到的ZMO靶材密度高、电阻率低，加热温度未超过1000℃，节约能源成本，能取得良好的经济效益，值得推广应用。