本发明公开了一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法，所述结构化多层薄膜包括硅基底，Ag薄膜、SiO

刘卫国 葛少博 周顺 杨鹏飞 李世杰 阳志强 黄岳田

西安工业大学

710032 陕西省西安市未央区学府中路2号

本发明公开了一种异质材料结构化多层薄膜吸波器及其制造方法，所述结构化多层薄膜包括硅基底，Ag薄膜、SiO