本发明涉及一种掺硅碳薄膜的固液超滑方法，包括以下步骤：⑴制备硅含量介于10~35at.%之间、表面粗糙度≤5nm的含硅碳薄膜；⑵所述含硅碳薄膜在真空腔内于100~200℃恒温保持1h后冷却至室温；⑶将所述步骤⑵所得的含硅碳薄膜与对偶球组成摩擦配伍对，且使液体润滑剂存在于二者表面之间，在1~3N载荷、0.05~0.15m/s速度下对所述含硅碳薄膜进行摩擦即可。
本发明方法简单，易于实现，可使滑动体系的摩擦系数降低至≤0.01，实现超滑，从而有效地减小摩擦、降低磨损和延长运动部件的工作寿命。

王永富 张俊彦 杨兴 孙朝杰 侯德良

中国科学院兰州化学物理研究所

730000 甘肃省兰州市城关区天水中路18号

本发明涉及一种掺硅碳薄膜的固液超滑方法，包括以下步骤：⑴制备硅含量介于10~35at.%之间、表面粗糙度≤5nm的含硅碳薄膜；⑵所述含硅碳薄膜在真空腔内于100~200℃恒温保持1h后冷却至室温；⑶将所述步骤⑵所得的含硅碳薄膜与对偶球组成摩擦配伍对，且使液体润滑剂存在于二者表面之间，在1~3N载荷、0.05~0.15m/s速度下对所述含硅碳薄膜进行摩擦即可。
本发明方法简单，易于实现，可使滑动体系的摩擦系数降低至≤0.01，实现超滑，从而有效地减小摩擦、降低磨损和延长运动部件的工作寿命。