本发明公开了一种硅片酸抛光用添加剂，其各组分的含量为：0.5～1.5质量份聚天门冬氨酸，2.0～4.5质量份醋酸，1.0～2.0质量份水苏糖，2.0～3.5质量份山梨醇，以及100质量份水。
在硅片酸抛光的抛光液中添加本发明的添加剂，能使酸抛光后硅片背面的绒面变为塔基状。

于胤 邓舜 陈盼盼 章圆圆

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本发明公开了一种硅片酸抛光用添加剂，其各组分的含量为：0.5～1.5质量份聚天门冬氨酸，2.0～4.5质量份醋酸，1.0～2.0质量份水苏糖，2.0～3.5质量份山梨醇，以及100质量份水。
在硅片酸抛光的抛光液中添加本发明的添加剂，能使酸抛光后硅片背面的绒面变为塔基状。