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专利摘要

本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。
金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面,入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2%以上。

专利状态

基础信息

专利号
CN201811389315.4
申请日
2016-03-22
公开日
2019-03-08
公开号
CN109440062A
主分类号
/C/C23/ 化学;冶金
标准类别
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

田村纯香 三上菜穗子 藤户大生 西辻清明 西刚广

申请人

凸版印刷株式会社

申请人地址

日本东京都

专利摘要

本发明涉及金属掩模基材、金属掩模基材的管理方法、金属掩模以及金属掩模的制造方法。
金属掩模基材具备构成为配置有抗蚀剂的金属制的表面,入射到表面的光的镜面反射的反射率为45.2%以上。

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