本发明涉及一种单晶炉结构及其使用方法，其包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器，还包括冷却装置，所述冷却装置包括开设于下炉膛侧壁内的冷却水腔、连通于冷却水腔的进水管以及连通于冷却水腔的出水管；所述进水管远离冷却水腔的一端安装有冷却水泵，所述冷却水泵的进水口连通有冷却水箱，所述冷却水箱的一侧连通有补水管；所述出水管远离冷却水腔的一端连通有降温箱，所述降温箱安装于冷却水箱的顶部，所述降温箱的底部通过排水管与冷却水箱连通，所述排水管上安装有电动阀；所述降温箱内安装有降温机构。
本发明便于对下炉膛进行降温，从而能够延长下炉膛的使用寿命。

李朝红 李茂欣 沈伟华

上海磐盟电子材料有限公司

201600 上海市松江区长塔路399号2幢

本发明涉及一种单晶炉结构及其使用方法，其包括上炉膛、下炉膛、保温筒、石墨坩埚、石英坩埚以及加热器，还包括冷却装置，所述冷却装置包括开设于下炉膛侧壁内的冷却水腔、连通于冷却水腔的进水管以及连通于冷却水腔的出水管；所述进水管远离冷却水腔的一端安装有冷却水泵，所述冷却水泵的进水口连通有冷却水箱，所述冷却水箱的一侧连通有补水管；所述出水管远离冷却水腔的一端连通有降温箱，所述降温箱安装于冷却水箱的顶部，所述降温箱的底部通过排水管与冷却水箱连通，所述排水管上安装有电动阀；所述降温箱内安装有降温机构。
本发明便于对下炉膛进行降温，从而能够延长下炉膛的使用寿命。