本实用新型公开了一种外延炉固定安装用底座，包括外延炉，所述外延炉底部的两侧均固定连接有固定杆，所述外延炉的底部设置有底座，所述底座顶部的两侧均开设有固定槽，所述固定杆的底部延伸至固定槽的内部，所述固定杆的内侧开设有卡槽，所述底座内部的两侧均竖向固定连接有滑杆。
本实用新型通过设置外延炉、固定杆、底座、固定槽、卡槽、滑杆、滑环、连接板、弹簧、提升杆、升降板、传动杆、滑槽、滑块、移动板、斜孔板和卡杆的配合使用，解决了现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐的问题，该外延炉固定安装用底座，具备便于安装的优点，节省了使用者大量的时间，提高了外延炉固定安装用底座的实用性。

沈恒文 林旭斌 金修领 吉双平 郝小峰 刘彤辉

江苏艾匹克半导体设备有限公司

214000 江苏省无锡市滨湖区青龙山联合工业园108号

本实用新型公开了一种外延炉固定安装用底座，包括外延炉，所述外延炉底部的两侧均固定连接有固定杆，所述外延炉的底部设置有底座，所述底座顶部的两侧均开设有固定槽，所述固定杆的底部延伸至固定槽的内部，所述固定杆的内侧开设有卡槽，所述底座内部的两侧均竖向固定连接有滑杆。
本实用新型通过设置外延炉、固定杆、底座、固定槽、卡槽、滑杆、滑环、连接板、弹簧、提升杆、升降板、传动杆、滑槽、滑块、移动板、斜孔板和卡杆的配合使用，解决了现有的外延炉固定安装用底座安装时操作繁琐的问题，该外延炉固定安装用底座，具备便于安装的优点，节省了使用者大量的时间，提高了外延炉固定安装用底座的实用性。