本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体地说是一种新型埋入式气柜，其特征在于，包括：上方开口的柜体，所述柜体的对称的两侧壁上分别设有沿水平方向均布的若干通孔，每个通孔中分别设有一个穿板管夹；真空接头，安装在柜体底板的下部；用于安装气柜组件的安装面板，其安装在柜体底板的上部，所述安装面板上设有若干平行设置的通风孔；柜门，盖合在柜体的开口上，且所述柜门的一侧边铰接在柜体一侧壁的靠近上侧边处；本实用新型和现有技术相比，采用埋入式设计，柜体安装完成后完全埋入地下，能够大量节省占地面积，柜门的抗击打能力强，能够完全保证工作现场的安全使用需求，真空接头从柜下安装，保证了柜面的平整。

施胜利 陈菊 徐力

至砾机电设备(上海)有限公司

200241 上海市闵行区紫海路170号2幢3、4层

本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体地说是一种新型埋入式气柜，其特征在于，包括：上方开口的柜体，所述柜体的对称的两侧壁上分别设有沿水平方向均布的若干通孔，每个通孔中分别设有一个穿板管夹；真空接头，安装在柜体底板的下部；用于安装气柜组件的安装面板，其安装在柜体底板的上部，所述安装面板上设有若干平行设置的通风孔；柜门，盖合在柜体的开口上，且所述柜门的一侧边铰接在柜体一侧壁的靠近上侧边处；本实用新型和现有技术相比，采用埋入式设计，柜体安装完成后完全埋入地下，能够大量节省占地面积，柜门的抗击打能力强，能够完全保证工作现场的安全使用需求，真空接头从柜下安装，保证了柜面的平整。