本发明涉及一种防溢出硅片清洗设备，包括：清洗池和两平行设置的端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，硅片能够插到相邻两夹紧齿之间，两端板之间还转动连接有一安装板，安装板能够盖合在各硅片上，清洗池的两侧短边内侧壁分别具有一溢流腔体，清洗池的内侧壁开设有上溢流孔，清洗池的外侧壁底部开设有下溢流孔，下溢流孔与溢流腔体连通，清洗池内清洗液通过上溢流孔进入溢流腔体后，能够从下溢流孔排出；以及上溢流孔的位置处设置有清洗部，清洗部与上溢流孔的内侧壁贴合，且清洗部与安装板联动，其中安装板盖合时，安装板能够联动清洗部清洗上溢流孔，通过在下溢流孔处收集清洗液，避免清洗液溢出的情况，以保证使用安全性。

钱诚 田晓东 冯春

常州江苏大学工程技术研究院 江苏亚电科技有限公司

213000 江苏省常州市常武中路801号天润科技大厦B座8楼

本发明涉及一种防溢出硅片清洗设备，包括：清洗池和两平行设置的端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，硅片能够插到相邻两夹紧齿之间，两端板之间还转动连接有一安装板，安装板能够盖合在各硅片上，清洗池的两侧短边内侧壁分别具有一溢流腔体，清洗池的内侧壁开设有上溢流孔，清洗池的外侧壁底部开设有下溢流孔，下溢流孔与溢流腔体连通，清洗池内清洗液通过上溢流孔进入溢流腔体后，能够从下溢流孔排出；以及上溢流孔的位置处设置有清洗部，清洗部与上溢流孔的内侧壁贴合，且清洗部与安装板联动，其中安装板盖合时，安装板能够联动清洗部清洗上溢流孔，通过在下溢流孔处收集清洗液，避免清洗液溢出的情况，以保证使用安全性。