本发明涉及一种便于排液的硅片清洗设备,包括：清洗池、两端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，支撑杆能够上下滑动，且硅片能够插到相邻两夹紧齿之间；清洗池的池底镜像设置有两排水管，排水管开设有排水槽，且排水管的内侧壁设置有挡块，以及挡块上方设置有一能够升降的堵块，堵块与排水槽适配，在端板沿清洗池池底滑动至安装位后，向下推动底部的支撑杆使得支撑杆按压堵块，堵块下滑至与挡块贴合并与挡块配合堵住排水槽，进而在安装端板的同时实现排水的关闭，在取出端板的同时，打开排水，进而实现对清洗池无接触开闭排水，以为工人的生命安全提供保障。

钱诚 田晓东 冯春

常州江苏大学工程技术研究院 江苏亚电科技有限公司

213000 江苏省常州市常武中路801号天润科技大厦B座8楼

本发明涉及一种便于排液的硅片清洗设备,包括：清洗池、两端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，支撑杆能够上下滑动，且硅片能够插到相邻两夹紧齿之间；清洗池的池底镜像设置有两排水管，排水管开设有排水槽，且排水管的内侧壁设置有挡块，以及挡块上方设置有一能够升降的堵块，堵块与排水槽适配，在端板沿清洗池池底滑动至安装位后，向下推动底部的支撑杆使得支撑杆按压堵块，堵块下滑至与挡块贴合并与挡块配合堵住排水槽，进而在安装端板的同时实现排水的关闭，在取出端板的同时，打开排水，进而实现对清洗池无接触开闭排水，以为工人的生命安全提供保障。