1.本实用新型涉及内循环装置，具体为一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置。
背景技术：
2.在半导体器件的制造过程中，硅片表面的清洁非常重要，这是由于硅片表面的任何污染物都可能会不良地影响所制备的器件的品质。
3.现在硅片清洗机的液槽单槽内上下层浓度不均衡，生产每6万片换水后都会先走2组空框，每天换水在2次左右，每次从上料刀下料总耗时1个小时左右，影响生产效率。
技术实现要素：
4.针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，有效的解决了现在硅片清洗机的液槽单槽内上下层浓度不均衡，生产每6万片换水后都会先走2组空框，每天换水在2次左右，每次从上料刀下料总耗时1个小时左右，影响生产效率的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括用于清洗硅片的清洗机药液槽以及用于存储药液的药液腔，还包括进液管、三通阀、输液管、循环泵、出液管、回液管、过滤机构和球阀，所述药液槽一侧的中部贯穿连接有进液管，进液管上安装有三通阀，三通阀的一通位置处连接有输液管，输液管的一端连接循环泵的出液口，药液槽另一侧的中部贯穿连接有出液管，出液管的一端连接有回液管，回液管上安装有过滤机构，输液管以及回液管靠近循环泵位置处均安装有球阀。
6.优选的，所述三通阀的另一通位置处与外部加液泵管连接。
7.优选的，所述过滤机构包括箱体、滤网、限位块、端盖、把手、竖杆、横杆和定位块，箱体的顶部安装有滤网，箱体对应滤网的边缘处设置有限位块，箱体的顶端通过铰链安装有端盖，端盖一端的中部设置有把手，滤网的顶端对称设置有两个竖杆，竖杆的顶端设置有横杆，端盖对应横杆位置处设置有定位块。
8.优选的，所述定位块对应横杆位置处开设有凹槽。
9.优选的，所述端盖与箱体的连接处设置有密封垫圈。
10.优选的，所述回液管的一端与循环泵的进液口连接。
11.有益效果：本实用新型使用时，将进液管上安装的三通阀转动至与输液管连通，此时，循环泵工作，循环泵工作通过出液管将药液槽内药液腔中的药液抽出，经回液管及过滤机构过滤后，再经循环泵的出液口排出，经输液管和进液管流回药液腔的内部，使得药液槽内药液腔中的药液处于循环的状态，从而使得药液槽内药液腔中的药液上下层浓度均衡性更好，使用时，回液管内的回流液经过箱体时，通过箱体内安装的滤网可对经过的循环药液进行过滤，在过滤一端时间后，滤网上污物较多时，通过把手将端盖掀起，此时横杆由定位块内脱离，通过横杆与竖杆即可将滤网取出，即可将滤网上的污物去除或清洗掉，清洗完成后，将滤网重新放置在限位块上方，将端盖复位，复位时，端盖上的定位块卡接在横杆上，可
对滤网进行定位，便于滤网的污物清理，设置的两个球阀，便于进行停机检修，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使得药液槽内上下层浓度均衡，提高清洗效果，同时减少生产的换水次数，提升设备本身的使用率，减少因换水而等待的时间，从而提高产量，且安装、拆卸、维修方便。
附图说明
12.附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
13.图1是本实用新型整体结构示意图；
14.图2是本实用新型过滤机构内部结构示意图；
15.图3是本实用新型横杆设置结构示意图；
16.图中标号：1、药液槽；2、药液腔；3、进液管；4、三通阀；5、输液管；6、循环泵；7、出液管；8、回液管；9、过滤机构；10、球阀；11、箱体；12、滤网；13、限位块；14、端盖；15、把手；16、竖杆；17、横杆；18、定位块。
具体实施方式
17.下面结合附图1-3对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。
18.实施例一，由图1-3给出，本实用新型提供一种清洗机药槽清洗效率提升内循环装置，包括用于清洗硅片的清洗机药液槽1以及用于存储药液的药液腔2，还包括进液管3、三通阀4、输液管5、循环泵6、出液管7、回液管8、过滤机构9和球阀10，药液槽1一侧的中部贯穿连接有进液管3，进液管3上安装有三通阀4，三通阀4的一通位置处连接有输液管5，输液管5的一端连接循环泵6的出液口，药液槽1另一侧的中部贯穿连接有出液管7，出液管7的一端连接有回液管8，回液管8上安装有过滤机构9，输液管5以及回液管8靠近循环泵6位置处均安装有球阀10，药液槽1一侧的底部设置有排液管，本实用新型使用时，将进液管3上安装的三通阀4转动至与输液管5连通，此时，循环泵6工作，循环泵6工作通过出液管7将药液槽1内药液腔2中的药液抽出，经回液管8及过滤机构9过滤后，再经循环泵6的出液口排出，经输液管5和进液管3流回药液腔2的内部，使得药液槽1内药液腔2中的药液处于循环的状态，从而使得药液槽1内药液腔2中的药液上下层浓度均衡性更好，使用时，回液管8内的回流液经过箱体11时，通过箱体11内安装的滤网12可对经过的循环药液进行过滤，在过滤一端时间后，滤网12上污物较多时，通过把手15将端盖14掀起，此时横杆17由定位块18内脱离，通过横杆17与竖杆16即可将滤网12取出，即可将滤网12上的污物去除或清洗掉，清洗完成后，将滤网12重新放置在限位块13上方，将端盖14复位，复位时，端盖14上的定位块18卡接在横杆17上，可对滤网12进行定位，便于滤网12的污物清理，设置的两个球阀10，便于进行停机检修，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使得药液槽内上下层浓度均衡，提高清洗效果，同时减少生产的换水次数，提升设备本身的使用率，减少因换水而等待的时间，从而提高产量，且安装、拆卸、维修方便。
19.实施例二
20.实施例一中药液腔2加液不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，三通阀4的另一通位置处与外部加液泵管连接，便于对药液腔2进行加液。
21.实施例三
22.实施例一中药液腔2药液循环时没有很好的过滤装置，参照图1和图2，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，过滤机构9包括箱体11、滤网12、限位块13、端盖14、把手15、竖杆16、横杆17和定位块18，箱体11的顶部安装有滤网12，箱体11对应滤网12的边缘处设置有限位块13，箱体11的顶端通过铰链安装有端盖14，端盖14一端的中部设置有把手15，滤网12的顶端对称设置有两个竖杆16，竖杆16的顶端设置有横杆17，端盖14对应横杆17位置处设置有定位块18，使用时，通过安装的滤网12可对经过的循环药液进行过滤，在过滤一端时间后，通过把手15将端盖14掀起，此时横杆17由定位块18内脱离，通过横杆17与竖杆16即可将滤网12取出，即可将滤网12上的污物去除或清洗掉，清洗完成后，将滤网12重新放置在限位块13上方，将端盖14复位，复位时，端盖14上的定位块18卡接在横杆17上，可对滤网12进行定位，便于滤网12的污物清理。
23.实施例四
24.实施例三中横杆17定位不便，参照图1和图3，作为另一优选实施例，与实施例三的区别在于，定位块18对应横杆17位置处开设有凹槽，便于横杆17的定位。
25.实施例五
26.实施例三中端盖14与箱体11连接处密封性不足，作为另一优选实施例，与实施例三的区别在于，端盖14与箱体11的连接处设置有密封垫圈，保证端盖14与箱体11的连接处的密封性。
27.实施例六
28.实施例一中回液管8回液不便，参照图1，作为另一优选实施例，与实施例一的区别在于，回液管8的一端与循环泵6的进液口连接，便于回液管8回液。
29.最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。