1.本实用新型涉及烘箱技术领域，尤其涉及一种石墨舟烘箱支架及石墨舟烘箱。


背景技术：

2.当前主流的单晶perc电池的工艺流程为：制绒
→
扩散
→
se(选择性发射极)
→
氧化
→
去psg(去磷硅玻璃)
→
碱抛
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退火
→
背面沉积钝化膜
→
正面沉积减反射膜
→
激光开槽
→
丝网印刷
→
烧结
→
光注入/电注入/无
→
测试分选
→
包装。
3.石墨舟是“背面沉积钝化膜和正面沉积减反射膜”这两道工序中硅片的载体，即上述工序中硅片的工装夹具。为了保证硅片的沉积膜膜层质量，需对石墨舟进行定期维护保养，石墨舟常用的维护保养流程为：石墨舟清洗
→
石墨舟烘干
→
石墨舟饱和(此处流程不含工艺卡点更换)。石墨舟烘干需要使用具有定时功能和循环排风的石墨舟烘箱，使石墨舟彻底烘干。
4.现有技术中石墨舟烘箱内部空间根据定制需求用均匀开孔的搁板分隔成几层空间，将指定数量的石墨舟分别置于每一层空间。但是这种结构当每层空间石墨舟放置数量超过2个时，内侧的石墨舟取放极其不便。甚至可能出现由于内侧石墨舟放置位置不准确，导致放置外侧石墨舟时产生挤压，进而损坏石墨舟的情况出现。并且当石墨舟烘干工艺结束后，由于温度较高(大于100℃)，需要等待石墨舟冷却后才能将其取出，而在烘箱内石墨舟自然冷却所需的时间较长(一个小时左右，不同的工艺温度、烘箱大小均有影响)，影响石墨舟烘箱的使用效率。


技术实现要素：

5.根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供一种石墨舟烘箱支架，能够在烘箱外部完成石墨舟的装卸，避免石墨舟损坏，并实现整个石墨舟烘箱支架在烘箱中的快速取放，提高烘箱的使用效率。
6.为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
7.一种石墨舟烘箱支架，包括：
8.支撑架，上述支撑架包括中空的固定框架和设置于上述固定框架的两端的舟槽架；
9.舟槽板，上述舟槽板设置在上述舟槽架上；
10.若干支撑脚，若干上述支撑脚与上述固定框架固定连接，以支撑上述支撑架；
11.固定杆，上述固定杆与相邻两个上述支撑脚未与上述固定框架连接的一端固定连接。
12.可选地，上述支撑架设有多个，多个上述支撑架间隔平行设置，相邻两个上述支撑架之间通过支撑杆连接，上述支撑脚设置在最下端的上述固定框架上。
13.可选地，相邻两个上述支撑架之间通过第一支撑杆连接，最下端的上述固定框架上连接有第二支撑杆，上述第二支撑杆未与上述固定框架相连的一端与上述固定杆固定连
接。
14.可选地，上述第一支撑杆和上述第二支撑杆一体成型。
15.可选地，上述支撑架还包括两端与上述舟槽架相连的第一连接架和与第一连接架垂直设置的第二连接架，上述第二连接架与上述固定框架相连。
16.可选地，上述支撑架还包括第三连接架和第四连接架，上述第三连接架和上述第四连接架互相交叉成x型设置在上述舟槽架之间。
17.可选地，还包括加固杆，上述加固杆一端与上述固定框架相连，另一端与上述支撑杆相连，以形成三角支撑结构。
18.可选地，上述支撑杆与上述固定框架之间、上述舟槽架与上述固定框架之间以及上述支撑脚与上述固定框架之间的连接方式为焊接。
19.可选地，上述支撑架、上述支撑杆和上述支撑脚的材料为不锈钢。
20.根据本实用新型的另一个方面，本实用新型提供一种石墨舟烘箱，包括上述的石墨舟烘箱支架。
21.本实用新型的有益效果：
22.通过设置多层的支撑架，并在最下层的支撑架上设置用于支撑整个石墨舟烘箱支架的支撑脚，可以通过支撑脚与地面之间的间隙，在间隙处安放机械小车来实现对整个石墨舟烘箱支架在石墨舟烘箱中的取放，这种结构具有以下优点：
23.(1)传统的石墨舟烘箱支架与石墨舟烘箱不可分，取放时内侧的石墨舟不便取出，且放置外侧的石墨舟时可能会挤压内侧的石墨舟而导致内侧的石墨舟损坏，设置石墨舟烘箱支架与石墨舟烘箱可分离，能够在烘箱外部完成石墨舟的取放，避免挤压石墨舟；
24.(2)传统的石墨舟烘箱要求烘干石墨舟后，石墨舟在石墨舟烘箱内冷却后再取出，冷却时间较长，设置石墨舟烘箱支架与石墨舟烘箱可分离，能够在石墨舟烘干后将石墨舟和石墨舟烘箱支架一起取出，使石墨舟在石墨舟烘箱外进行冷却，能够缩短石墨舟的冷却时间，并且能够提高石墨舟烘箱的使用效率；
25.(3)传统的石墨舟烘箱，在进行石墨舟烘干前需要工作人员逐个搬运石墨舟放置进石墨舟烘箱内，烘干后需要逐个从石墨舟烘箱中取出，设置石墨舟烘箱支架与石墨舟烘箱可分离，可以借助机械小车实现石墨舟的整体取放，提高石墨舟的取放效率，节约人工成本。
附图说明
26.图1是本实用新型石墨舟烘箱支架的结构示意图；
27.图2是本实用新型石墨舟烘箱支架的左视图。
28.图中：
29.100、支撑架；101、固定框架；102、舟槽架；103、第一连接架；104、第二连接架；200、舟槽板；300、支撑脚；400、固定杆；500、支撑杆；600、加固杆。
具体实施方式
30.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本实用新型，而非对本实用新型的限定。另外还需要说
明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本实用新型相关的部分而非全部结构。
31.在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
33.在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
34.现有技术中，石墨舟烘箱和石墨舟烘箱支架为一体结构，一方面，当每层石墨舟烘箱支架上放置超过两个石墨舟时，会出现内侧石墨舟取放不变，严重可能挤压内侧石墨舟，导致内侧石墨舟损坏；另一方面，石墨舟烘干后需要在石墨舟烘箱中自然冷却，冷却时间较长，导致石墨舟的使用效率较低，且冷却后需要逐一将石墨舟取出，耗费的人工成本和时间成本较大。
35.针对上述问题，在本实用新型的一个实施例中，提供了一种石墨舟烘箱支架，如图1所示，该石墨舟烘箱支架包括支撑架100、舟槽板200、固定杆400和若干支撑脚300，其中支撑架100包括中空的固定框架101和在固定框架101两端设置的舟槽架102，支撑架100用于放置石墨舟，舟槽板200设置在舟槽架102上，石墨舟的两个舟脚放置在舟槽板200上，支撑脚300和支撑架100的固定框架101相连，用来支撑整个石墨舟支架，相邻两个支撑脚300未与固定框架101相连的一端通过固定杆400连接，通过固定杆400与地面接触，可以增大接触面积，使石墨舟烘箱支架的支撑更稳固。
36.通过设计石墨舟烘箱支架与石墨舟烘箱可分离，可以在石墨舟烘箱支架外侧实现石墨舟的取放，取放方便，还可以避免石墨舟之间的挤压，进而避免石墨舟损坏；能够实现所有石墨舟的整体取放，且烘干后的石墨舟可以和石墨舟烘箱支架一起取出并在石墨舟烘箱外进行冷却，提高了石墨舟烘箱的使用效率，且可以利用机械小车从石墨舟烘箱支架的支撑架100与地面的间隙处实现对石墨舟烘箱支架的自动放进和取出，降低了人工成本和时间成本。
37.进一步地，在一个实施例中，可以设置多个支撑架100，多个支撑架100之间平行设置，并用支撑杆500连接相邻的两个支撑架100，将支撑脚300与最下端的支撑架100相连，用于支撑石墨舟烘箱支架，设置多个支撑架100可以放置更多的石墨舟，支撑架100的个数以及相邻支撑架100之间的距离根据石墨舟的尺寸以及石墨舟烘箱的高度而定，根据实际需要生产即可，相邻两层支撑架100之间的支撑杆500可以设置多个，相邻两个支撑杆500之间
的距离应该大于石墨舟的宽度，以便能够放置一个石墨舟，在本实施例中，可以在相邻两个支撑架100的相对两侧设置支撑杆500；在其他实施例中，还可以在相邻两个支撑架100的四周都设置支撑杆500。
38.优选地，在一个实施例中，相邻支撑架100之间可以用第一支撑杆连接，最底端的支撑架100的固定框架101上还连接有第二支撑杆，在本实施例中，第二支撑杆可以设置在最底端固定框架101相对的两端；在其他实施例中，第二支撑杆也可以设置在最底端固定框架101的四周。
39.优选地，在一个实施例中，继续参见图1，固定杆400可以连接在相邻两个支撑脚300的侧壁上，并且固定杆400的底部壁面与支撑脚300的端面平齐，同时将第二支撑杆的端面与固定杆400的上部壁面相连，固定杆400通过底部壁面与地面接触，增大了接触面积，这样可以保证固定杆400和支撑脚300对石墨舟烘箱支架的支撑更平稳；在其他实施例中，可以将第二支撑杆和支撑脚300的端面与固定杆400的上部壁面相连，固定杆400的底部壁面与地面接触，提高石墨舟烘箱支架的稳定性。
40.优选地，考虑到零件数量和连接关系，在一个实施例中，连接固定框架101同一侧的第二支撑杆和支撑脚300的固定杆400可以一体成型，第一支撑杆和第二支撑杆也可以一体成型。
41.进一步地，继续参见图1，可以设置第一连接架103和第二连接架104，第一连接架103的两端与舟槽架102相连，第二连接架104的两端与固定框架101相连，这种结构能够分摊部分石墨舟的压力，避免石墨舟的压力全部作用在舟槽板200和固定框架101上，提高支撑架100的使用寿命。在一个实施例中，第一连接架103和第二连接架104可以均为一根，成十型设置在支撑架100内；在其他实施例中，第一连接架103和第二连接架104也可以设置多根，提高支撑架100的支撑性能。
42.作为优选地技术方案，还可以设置第三连接架和第四连接架，将第三连接架和第四连接架成x型设置在舟槽架102与固定框架101之间，为支撑架100分摊压力，保证支撑架100的支撑性能，提高支撑架100的使用寿命。在一个实施例中，第三连接架和第四连接架可以与固定框架101相连；在另一个实施例中，第三连接架和第四连接架也可以和舟槽架102相连；在其他实施例中，第三支撑架100和第四支撑架100还可以其中一个和固定框架101相连，另一个和舟槽架102相连，根据实际需要生产即可。
43.优选地，如图2所示，可以设置一个加固杆600，加固杆600的一端与固定框架101相连，另一端与支撑杆500相连，以形成三角支撑结构，三角支撑结构能够稳固支撑杆500与固定框架101的连接，还能将支撑架100上的部分压力分摊给支撑杆500，提高石墨舟烘箱支架的稳定性。
44.优选地，支撑架100、舟槽架102、支撑脚300、固定杆400、支撑杆500、第一连接架103、第二连接架104；第三连接架、第四连接架以及固定杆400可以采用中空的结构，这样可以降低石墨舟烘箱支架的重量，也可以节约材料，降低成本。上述石墨舟烘箱支架的各个连接处可以采用焊接的方式固定连接，焊接工艺适应范围广，且焊接结构刚度大，连接性能好，能够方便地根据所需结构进行焊接。
45.进一步地，支撑架100、支撑脚300和支撑杆500可以采用不锈钢材料制成，不锈钢具有很高的耐腐蚀性能，可以应用在较为严苛的环境中，不锈钢具有较高的耐火和耐热性
能，可以在高温下保持强度。在一个实施例中，可以在整个石墨舟烘箱支架外喷涂“铁氟龙”，避免石墨舟烘箱支架生锈。
46.本实用新型通过设置石墨舟烘箱支架与石墨舟烘箱可分离，能够实现在石墨舟烘箱外取放石墨舟，自由度极高，避免石墨舟之间挤压损坏；能够在石墨舟烘箱外对石墨舟进行冷却，提高石墨舟烘箱的使用效率；石墨舟烘箱支架最底端的支撑架100距离地面有一定的间隙，可以使用机械小车实现石墨舟支架在石墨舟烘箱内的放置和取出，节约了人工成本和时间成本。
47.本实施例还提供一种石墨舟烘箱，包括上述的石墨舟烘箱支架，采用上述石墨舟烘箱支架的石墨舟烘箱，石墨舟烘箱支架可以在石墨舟烘箱外完成单个石墨舟的装卸，自由度极高。另外可以借助机械小车，实现对整个石墨舟烘箱支架在石墨舟烘箱内的快速取放，大大提高了烘箱的使用效率。
48.上述石墨舟烘箱的具体使用步骤如下：
49.从最底层支撑架100开始，每层支撑架100按照先中间后两侧的顺序依次放置石墨舟，石墨舟两端的舟脚放置在舟槽板200上；
50.待石墨舟全部放置完成后，将机械小车放置在最底层支撑架100与地面的间隙处，然后将石墨舟烘箱支架抬升至一定高度，移动机械小车至合适的位置。将石墨舟烘箱的门打开，缓缓地移动机械小车，将整个石墨舟烘箱支架推入石墨舟烘箱内，而后缓缓地降低石墨舟烘箱支架的高度，直至石墨舟烘箱支架平稳地落在石墨舟烘箱内，将机械小车移出。
51.关闭石墨舟烘箱的门，运行石墨舟烘干工艺，待工艺运行结束后，打开石墨舟烘箱的门，调整好机械小车的高度，将机械小车推至最底层支撑架100与石墨舟烘箱的间隙处，缓慢抬升石墨舟烘箱支架到一定高度，而后将机械小车缓慢移出至石墨舟烘箱外的指定位置，到达指定位置后，缓慢地降低小车的高度，直至石墨舟烘箱支架落在指定位置处的底板上。
52.显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本实用新型的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。