本发明提供能够实现超声波传感器元件的高密度化，并维持良好的声音特性的超声波传感器。
在将相互正交的两个轴设为X轴以及Y轴，并将由X轴以及Y轴形成的平面设为XY平面时，具备：基板(10)，其沿着XY平面；多个空间(12)，它们沿着X轴方向以及Y轴方向的至少一个方向被形成于基板(10)；振动板(50)，其以堵住空间(12)的方式被设置在基板(10)上，且具有基板(10)侧的第一面(50a)以及与该第一面(50a)对置的第二面(50b)；以及压电元件(300)，其被设置在振动板(50)的第二面(50b)侧中与空间(12)对应的部分，并发送和/或接收超声波，空间(12)的至少一部分被形成为交错状。

大桥幸司

精工爱普生株式会社

日本东京都

本发明提供能够实现超声波传感器元件的高密度化，并维持良好的声音特性的超声波传感器。
在将相互正交的两个轴设为X轴以及Y轴，并将由X轴以及Y轴形成的平面设为XY平面时，具备：基板(10)，其沿着XY平面；多个空间(12)，它们沿着X轴方向以及Y轴方向的至少一个方向被形成于基板(10)；振动板(50)，其以堵住空间(12)的方式被设置在基板(10)上，且具有基板(10)侧的第一面(50a)以及与该第一面(50a)对置的第二面(50b)；以及压电元件(300)，其被设置在振动板(50)的第二面(50b)侧中与空间(12)对应的部分，并发送和/或接收超声波，空间(12)的至少一部分被形成为交错状。