本发明涉及声学微电子装置，该装置包括：支撑件(1)；至少一个膜(3)的一个组，该组膜通过锚固区域(31)悬置在腔室上方的支撑件(1)的表面(21)上；以及邻近膜(3)设置的至少一个隔音沟槽(62a，b，c，d；63a，b)，其特征在于，该装置包括至少一个桥(64)，所述至少一个桥(64)连接沟槽(62a，b，c，d；63a，b)的两个相对边缘的部分并且位于沟槽(62a，b，c，d；63a，b)的至少一个区域上方以在沟槽的所述区域中形成位于桥(64)下方的隔音井(65)。

史蒂法纳·范格特 卡洛琳·库蒂埃 菲利普·罗伯特

法国原子能源和替代能源委员会

法国巴黎

本发明涉及声学微电子装置，该装置包括：支撑件(1)；至少一个膜(3)的一个组，该组膜通过锚固区域(31)悬置在腔室上方的支撑件(1)的表面(21)上；以及邻近膜(3)设置的至少一个隔音沟槽(62a，b，c，d；63a，b)，其特征在于，该装置包括至少一个桥(64)，所述至少一个桥(64)连接沟槽(62a，b，c，d；63a，b)的两个相对边缘的部分并且位于沟槽(62a，b，c，d；63a，b)的至少一个区域上方以在沟槽的所述区域中形成位于桥(64)下方的隔音井(65)。