本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。
该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室,所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道,并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱动下绕中转室轴线旋转任意角度,并到达不同工作位置处而与真空互联系统内的不同样品小车固定轨道配合。
进一步的,所述选定位置包括真空互联系统的选定的两条真空管线交接处和/或对样品小车有转向要求的真空管线交叉节点处。
本发明通过在真空互联系统内设置换向中转室,可以有效的完成真空环境下样品小车在真空管道中的交汇及转向功能。
刘德利 张宝顺 张永红 王荣新 李智
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
215123 江苏省苏州市工业园区独墅湖高教区若水路398号
本发明公开了一种应用于超高真空环境的样品传输系统及方法。
该传输系统包括分布于真空互联系统内对样品小车有转向要求的选定位置处的换向中转室,所述换向中转室内部设有用于承载样品小车的可旋转轨道,并且所述可旋转轨道可在驱动机构驱动下绕中转室轴线旋转任意角度,并到达不同工作位置处而与真空互联系统内的不同样品小车固定轨道配合。
进一步的,所述选定位置包括真空互联系统的选定的两条真空管线交接处和/或对样品小车有转向要求的真空管线交叉节点处。
本发明通过在真空互联系统内设置换向中转室,可以有效的完成真空环境下样品小车在真空管道中的交汇及转向功能。