本发明提供一种压力传感器、基板结构及其制造方法,该用于压力传感器的基板结构包括基板,所述基板贯设有压力孔,所述压力孔包括沿第一方向布置的直孔和锥孔,所述锥孔自所述直孔的孔缘延伸形成,且所述锥孔的孔径沿第一方向呈渐宽设置。
王小平 曹万 杨军 洪鹏
武汉飞恩微电子有限公司
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本发明提供一种压力传感器、基板结构及其制造方法,该用于压力传感器的基板结构包括基板,所述基板贯设有压力孔,所述压力孔包括沿第一方向布置的直孔和锥孔,所述锥孔自所述直孔的孔缘延伸形成,且所述锥孔的孔径沿第一方向呈渐宽设置。