本发明实施例提供了一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和电路基板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区内形成有热电堆结构，所述电路基板包括热辐射隔离区；在所述电路基板上形成支撑结构，所述支撑结构中形成有自下而上纵向堆叠的热辐射隔离板和牺牲结构，所述热辐射隔离板和牺牲结构至少覆盖所述热辐射隔离区；将所述热电堆结构板键合在所述电路基板形成有支撑结构一侧的表面上，使所述热辐射感应区与所述热辐射隔离区垂直对应；去除所述牺牲结构，在所述热电堆结构板和电路基板之间形成第一空腔。
所述热电堆传感器的制作方法可以提高热电堆传感器的测量精度。

黄河

中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司

201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309

本发明实施例提供了一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和电路基板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区内形成有热电堆结构，所述电路基板包括热辐射隔离区；在所述电路基板上形成支撑结构，所述支撑结构中形成有自下而上纵向堆叠的热辐射隔离板和牺牲结构，所述热辐射隔离板和牺牲结构至少覆盖所述热辐射隔离区；将所述热电堆结构板键合在所述电路基板形成有支撑结构一侧的表面上，使所述热辐射感应区与所述热辐射隔离区垂直对应；去除所述牺牲结构，在所述热电堆结构板和电路基板之间形成第一空腔。
所述热电堆传感器的制作方法可以提高热电堆传感器的测量精度。