一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和基板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区中形成有热电堆结构；在所述热电堆结构板上形成第一互连层，所述第一互连层中至少形成有第一导电互连结构，所述第一导电互连结构电连接所述热电堆结构；在所述热电堆结构板上形成第一空腔，所述第一空腔位于所述第一导电互连结构背向所述热电堆结构板的一侧，且所述第一空腔位于所述热电堆结构上方；形成所述第一空腔后，将所述热电堆结构板键合在所述基板上，使所述第一互连层位于所述热电堆结构的下方。
本发明能够在简化工艺流程、降低工艺成本的同时，提高热电堆传感器的测量精度。

黄河

中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司

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一种热电堆传感器的制作方法，包括：提供热电堆结构板和基板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区中形成有热电堆结构；在所述热电堆结构板上形成第一互连层，所述第一互连层中至少形成有第一导电互连结构，所述第一导电互连结构电连接所述热电堆结构；在所述热电堆结构板上形成第一空腔，所述第一空腔位于所述第一导电互连结构背向所述热电堆结构板的一侧，且所述第一空腔位于所述热电堆结构上方；形成所述第一空腔后，将所述热电堆结构板键合在所述基板上，使所述第一互连层位于所述热电堆结构的下方。
本发明能够在简化工艺流程、降低工艺成本的同时，提高热电堆传感器的测量精度。