本发明实施例提供了一种热电堆传感器的制作方法，包括提供热电堆结构板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区中形成有热电堆结构；提供电路基板，在所述电路基板上形成热辐射反射板，并形成第一沟槽于覆盖所述电路基板的支撑层，所述热辐射反射板位于所述第一沟槽的下方；将所述支撑层与所述热电堆结构板键合，使所述第一沟槽夹设在所述热电堆结构板和所述电路基板之间形成第一空腔，所述热辐射反射板位于所述热电堆结构的下方。
本发明实施例所提供的热电堆传感器的制作方法所得的热电堆传感器可以避免红外辐射的流失，提高测量精度。

黄河

中芯集成电路(宁波)有限公司上海分公司

201210 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区蔡伦路85弄95号1幢3楼C区309

本发明实施例提供了一种热电堆传感器的制作方法，包括提供热电堆结构板，所述热电堆结构板包括热辐射感应区，所述热辐射感应区中形成有热电堆结构；提供电路基板，在所述电路基板上形成热辐射反射板，并形成第一沟槽于覆盖所述电路基板的支撑层，所述热辐射反射板位于所述第一沟槽的下方；将所述支撑层与所述热电堆结构板键合，使所述第一沟槽夹设在所述热电堆结构板和所述电路基板之间形成第一空腔，所述热辐射反射板位于所述热电堆结构的下方。
本发明实施例所提供的热电堆传感器的制作方法所得的热电堆传感器可以避免红外辐射的流失，提高测量精度。