本发明公开了一种解耦式微陀螺，其包括：第一检测质量块；第二检测质量块，其中第一检测质量块和第二检测质量块在柯式力作用下会沿着相反的方向运动；连接于第一检测质量块和第二检测质量块之间的检测质量块解耦梁，其被配置的促使第一检测质量块和第二检测质量块保持相反方向的运动；在第一检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动时，所述检测质量块解耦梁在第一检测质量块的牵引下发生弹性形变，进而推动第二检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动。
本发明所述的解耦式微陀螺实现了检测电容的差分放大，提高了该结构的灵敏度，抑制了微陀螺的机械耦合，提高了微陀螺的检测精度。

丁希聪 凌方舟 蒋乐跃 刘尧 姜萍 苏云鹏

美新半导体(天津)有限公司

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本发明公开了一种解耦式微陀螺，其包括：第一检测质量块；第二检测质量块，其中第一检测质量块和第二检测质量块在柯式力作用下会沿着相反的方向运动；连接于第一检测质量块和第二检测质量块之间的检测质量块解耦梁，其被配置的促使第一检测质量块和第二检测质量块保持相反方向的运动；在第一检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动时，所述检测质量块解耦梁在第一检测质量块的牵引下发生弹性形变，进而推动第二检测质量块相对于检测质量块解耦梁做远离运动。
本发明所述的解耦式微陀螺实现了检测电容的差分放大，提高了该结构的灵敏度，抑制了微陀螺的机械耦合，提高了微陀螺的检测精度。