本发明公开了一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用，其中，所述的制备方法包括：首先对前驱体碳酸铈进行球磨分散，然后对所得碳酸铈前驱体进行水热晶化预处理，进一步高温焙烧所制备的晶态碳酸铈，得到氧化铈粉体。
将该氧化铈粉体经机械力分散于液相，以该分散的氧化铈为磨料制备CMP抛光液，其在STI抛光应用中显示出优良的平坦化抛光效率。

尹先升 贾长征

安集微电子科技（上海）有限公司

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本发明公开了一种氧化铈的制备方法及其在STI抛光领域的应用，其中，所述的制备方法包括：首先对前驱体碳酸铈进行球磨分散，然后对所得碳酸铈前驱体进行水热晶化预处理，进一步高温焙烧所制备的晶态碳酸铈，得到氧化铈粉体。
将该氧化铈粉体经机械力分散于液相，以该分散的氧化铈为磨料制备CMP抛光液，其在STI抛光应用中显示出优良的平坦化抛光效率。