本发明提供了一种高效硅溶胶抛光液及其制备方法，在硅溶胶抛光剂含有氧化硅分散体，并添加有非离子表面活性剂、Ti离子络合剂、Fe离子络合剂、氧化剂、缓蚀剂、有机碱：四甲基乙二胺、去离子水、所述硅溶胶中的氧化硅分散体由高岭石提纯获得，含有SiO

左海珍

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本发明提供了一种高效硅溶胶抛光液及其制备方法，在硅溶胶抛光剂含有氧化硅分散体，并添加有非离子表面活性剂、Ti离子络合剂、Fe离子络合剂、氧化剂、缓蚀剂、有机碱：四甲基乙二胺、去离子水、所述硅溶胶中的氧化硅分散体由高岭石提纯获得，含有SiO