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专利摘要

本发明的目的在于,提供能够得到在宽波长域的范围内显示更低的光吸收特性,且低电阻的氧化物透明导电膜的氧化物烧结体、及氧化物透明导电膜。
一种氧化物烧结体,具有铟、铪、钽及氧作为构成元素,其中,使用在将铟、铪及钽分别用In、Hf及Ta表示时,以原子比计Hf/(In+Hf+Ta)为0.2~3.0at%,Ta/(In+Hf+Ta)为0.02~1.3at%的氧化物烧结体。

专利状态

基础信息

专利号
CN201780012335.7
申请日
2017-02-20
公开日
2018-10-23
公开号
CN108698932A
主分类号
/C/C23/ 化学;冶金
标准类别
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

秋池良 土田裕也 仓持豪人

申请人

东曹株式会社

申请人地址

日本国山口县周南市开成町4560番地

专利摘要

本发明的目的在于,提供能够得到在宽波长域的范围内显示更低的光吸收特性,且低电阻的氧化物透明导电膜的氧化物烧结体、及氧化物透明导电膜。
一种氧化物烧结体,具有铟、铪、钽及氧作为构成元素,其中,使用在将铟、铪及钽分别用In、Hf及Ta表示时,以原子比计Hf/(In+Hf+Ta)为0.2~3.0at%,Ta/(In+Hf+Ta)为0.02~1.3at%的氧化物烧结体。

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