本发明的目的在于,提供能够得到在宽波长域的范围内显示更低的光吸收特性,且低电阻的氧化物透明导电膜的氧化物烧结体、及氧化物透明导电膜。
一种氧化物烧结体,具有铟、铪、钽及氧作为构成元素,其中,使用在将铟、铪及钽分别用In、Hf及Ta表示时,以原子比计Hf/(In+Hf+Ta)为0.2~3.0at%,Ta/(In+Hf+Ta)为0.02~1.3at%的氧化物烧结体。
秋池良 土田裕也 仓持豪人
东曹株式会社
日本国山口县周南市开成町4560番地
本发明的目的在于,提供能够得到在宽波长域的范围内显示更低的光吸收特性,且低电阻的氧化物透明导电膜的氧化物烧结体、及氧化物透明导电膜。
一种氧化物烧结体,具有铟、铪、钽及氧作为构成元素,其中,使用在将铟、铪及钽分别用In、Hf及Ta表示时,以原子比计Hf/(In+Hf+Ta)为0.2~3.0at%,Ta/(In+Hf+Ta)为0.02~1.3at%的氧化物烧结体。