本发明提供一种遮挡盘检测装置、磁控溅射腔室及遮挡盘检测方法，该遮挡盘检测装置设于磁控溅射腔室内，用于对遮挡盘的位置是否偏移进行检测，包括检测部、多个检测件、驱动器、检测单元，其中，检测部是绝缘的，设于导电的遮挡盘的表面上；驱动器用于驱动多个检测件在检测位置和工艺位置之间移动；多个检测件是导电的，设置为在处于检测位置且遮挡盘的位置未偏移时，同时与检测部接触；检测单元与多个检测件电连接，用于在多个检测件处于检测位置时，检测任意两个检测件之间是否导通，若是，确定遮挡盘发生偏移，若否，确定遮挡盘未偏移。
应用本发明，可以准确判断遮挡盘是否发生偏移。

魏延宝

北京北方华创微电子装备有限公司

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

本发明提供一种遮挡盘检测装置、磁控溅射腔室及遮挡盘检测方法，该遮挡盘检测装置设于磁控溅射腔室内，用于对遮挡盘的位置是否偏移进行检测，包括检测部、多个检测件、驱动器、检测单元，其中，检测部是绝缘的，设于导电的遮挡盘的表面上；驱动器用于驱动多个检测件在检测位置和工艺位置之间移动；多个检测件是导电的，设置为在处于检测位置且遮挡盘的位置未偏移时，同时与检测部接触；检测单元与多个检测件电连接，用于在多个检测件处于检测位置时，检测任意两个检测件之间是否导通，若是，确定遮挡盘发生偏移，若否，确定遮挡盘未偏移。
应用本发明，可以准确判断遮挡盘是否发生偏移。